製品・サービス
弊社では自社ブランド装置の開発販売からOEMでの設計製造・共同開発など幅広く対応可能です。
- 半導体洗浄装置
- 自動機・手動機や、ウエハーサイズなどの個別仕様に合わせた製作を行います。
例：バッチ式および枚葉式のエッチング装置、剥離装置ほかウエットプロセス装置
- 治具洗浄装置
- 各ユーザー仕様に沿った装置の製作を行います。
例：石英管洗浄装置、キャリア洗浄装置、ほか
- 薬液供給装置
- 薬液を希釈調合したり、キャニスタータンクからの圧送・ストレージタンクからのポンプ供給など、要求信号に応じた薬液を供給します。酸・アルカリ・溶剤等樹脂や、SUSの材質を用いた、腐食の無いクリーンな供給を行います。
例：HF供給装置、剥離液供給装置、スラリー供給装置、ほか
- ロボット・搬送機
- 割れやすいシリコンウエハーを、クリーンかつスピーディーに搬送します。
例：枚葉スピンチャンバー、ウエハー移載装置、自動洗浄装置の搬送機、ほか